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拓荆科技赢得发明专利授权:“法兰安装及半导体制造系统”

2024-11-26 01:48    点击次数:118

  

本站音问,笔据天眼查APP数据披露拓荆科技(688072)新赢得一项发明专利授权,专利名为“法兰安装及半导体制造系统”,专利苦求号为CN202111617994.8,授权日为2024年11月22日。

专利摘要:本发明揭露一种法兰安装,一语气于处分腔体及传递腔体之间。所述安装包含一册体,所述试验具有一第一环形内壁及所述第一环形内壁界说的一晶圆传输通谈。所述第一环形内壁由一顶面、一双侧面及一底面所界定,其中所述第一环形内壁的顶面提供有多个扩散孔,用于朝所述晶圆通谈供应净化气体。此外,本发明还揭露了一种半导体制造系统。

本年以来拓荆科技新赢得专利授权28个,较客岁同时减少了63.64%。荟萃公司2024年中报财务数据,本年上半年公司在研发方面参加了3.14亿元,同比增49.61%。

数据起首:天眼查APP

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